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日本thermocera小型立式實驗堆
產品名稱: 日本thermocera小型立式實驗堆
產品型號: TVF-110
產品特點: 日本thermocera小型立式實驗堆手動提升立式實驗爐,適用于小至3英寸晶圓的小基板cost低成本醉低要求的配置(手動控制)適用于管式爐,擴散爐,熱CVD。主要用途小樣本基礎實驗在大學/公司實驗室中的使用半導體,太陽能電池,燃料電池,電子基板等的熱處理基礎實驗:用于氧化擴散爐,LPCVD等的簡單熱處理實驗。
日本thermocera小型立式實驗堆 的詳細介紹
日本thermocera小型立式實驗堆
手動提升立式實驗爐,適用于小至3英寸晶圓的小基板
cost低成本醉低要求的配置(手動控制)適用于管式爐,擴散爐,熱CVD。
主要用途
小樣本基礎實驗在大學/公司實驗室中的使用
半導體,太陽能電池,燃料電池,電子基板等的熱處理
基礎實驗:用于氧化擴散爐,LPCVD等的簡單熱處理實驗。
特性- 用戶友好,易于手動操作
- 簡單的配置非常適合基礎實驗應用
- 我們可以提供低成本和醉低要求規格的設備。
- 可以根據要求添加功能,我們將每次定制。
- *作為標準配置,只有爐體(包括基座和垂直升降機構)和溫度控制單元可用。
- *不包括氣體引入/排出系統,氣體壓力控制,冷卻水控制等。我們將根據要求添加它。
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| 主要規格 [電爐部分] 醉高工作溫度 | 醉高1200℃(*加熱器溫度,正常醉高1100℃)醉高950℃(板溫) | 加熱器 | 地暖1區1.5KW | 爐 | 陶瓷成型品Φ290x 300L(分體式) | 案件 | 鋁殼開合式 | 熱電偶 | 用于控制,過熱檢測:K型護套熱電偶(2對) | 溫度測量用熱電偶 | Φ0.65mmK線型帶絕緣管1500L | 溫度控制 | PID溫度控制器可控硅控制 |
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| [爐芯管/石英夾具部分] 芯管 | Φ100xΦ95x 470L毫米 | 緩沖 | 234H xΦ86屏蔽x 2層 | 感受器 | Φ86x t5毫米(帶上下桿)x 2至3步 | 熱電偶保護管 | Φ8xΦ6x 660L毫米 |
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| [基座/底座法蘭向上/向下] 驅動系統 | 手動型(旋轉手柄) | 中風 | Max300mm(基座)Max500mm(基礎法蘭)帶限位器,帶有任意垂直限位器 |
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| 外型尺寸 |
日本thermocera小型立式實驗堆