日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列
日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列
該產(chǎn)品是一種換能器型多離子規(guī)，可以連接具有不同測量范圍的測頭。
在將常規(guī)方法的多種原理結(jié)合到一個(gè)外殼中的復(fù)雜真空計(jì)中，“由于一個(gè)探針的故障，必須*更換一個(gè)探針"“探針復(fù)雜且容易發(fā)生故障"我們經(jīng)常聽到客戶說“很貴"。
使用這種方法，可以進(jìn)行寬帶測量，大大降低了運(yùn)行成本，并支持低環(huán)境負(fù)荷。
GMi系列的特點(diǎn)
廣域測量可以測量
從大氣壓到高真空區(qū)域（10 5至5×10 -8 Pa）（當(dāng)同時(shí)使用GPM和GAM時(shí)）。可以連接不同測量范圍的探頭，使用
多離子規(guī)可以根據(jù)應(yīng)用選擇探頭。準(zhǔn)確的大氣壓測量
輕松，準(zhǔn)確地確認(rèn)大氣壓（使用GAM時(shí)）支持低環(huán)境負(fù)荷由于
僅在必要時(shí)可以更換接觸點(diǎn)，因此可以降低運(yùn)行成本。
配備能檢查異常的LED 的能見度得到改善
易于維護(hù)更換探頭每種模式（組合模式）的
規(guī)格GMi + GPM（離子計(jì)+皮拉尼表）
GMi + GPM + GAM（離子計(jì)+皮拉尼表+大氣壓傳感器）測量值輸出信號
壓力為0-10V輸出（對數(shù)輸出）控制輸出信號
設(shè)定值3點(diǎn)可輸出（GMi-1）可以進(jìn)行串行通訊規(guī)格
RS232C / RS485通訊（GMi-2）符合
CE標(biāo)準(zhǔn)
用途
用于各種制造設(shè)備（例如太陽能電池，F(xiàn)PD，半導(dǎo)體和電子零件）的高真空區(qū)域中的過程控制
確認(rèn)具有在線式和單晶圓式等多個(gè)處理室的各種制造設(shè)備的高真空區(qū)域的極限壓力
高真空/超高真空設(shè)備壓力測量
日本芝浦機(jī)電shibaura多離子真空計(jì)GMi系列
規(guī)范
| 模型 | GMi-1 | GMi-2 | |
|---|---|---|---|
| 規(guī)范 | 標(biāo)準(zhǔn)規(guī)格 | 串行通訊規(guī)格 | |
| 自適應(yīng)多離子量規(guī)傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） | ||
| 可連接的 | 傳感器多離子壓力表傳感器：1個(gè) 皮拉尼壓力表GPM：1個(gè)（可選） 大氣壓傳感器GAM：1個(gè)（可選） | ||
| 采樣時(shí)間 | 70毫秒4倍移動(dòng)平均處理 | ||
| 測量值輸出 | 輸出電壓DC 0至10 V，對數(shù)輸出0.75 V / 1位 壓力轉(zhuǎn)換公式V = 7.25 + 0.75×（Log P-2）P = 10 ^ {（V-7.25）/ 0.75 + 2} *用于設(shè)定點(diǎn)調(diào)整也用作輸出電源（僅適用于GMi-1） | ||
| 更新時(shí)間 | 50毫秒 | ||
| 控制輸入信號 | FIL ON / OFF，F(xiàn)IL 1/2，DEGAS ON / OFF以 集電極開路輸入，負(fù)邏輯運(yùn)行 * FIL ON / OFF信號的用法因模式而異。 | -- | |
| 控制輸出信號 | 傳感器錯(cuò)誤，設(shè)定點(diǎn)1/2/3 發(fā)射有效 燈絲功率監(jiān)控 額定值：24 VMAX，50 mAMAX， 飽和電壓1 V | -- | |
| 串行通訊規(guī)格 | -- | RS232C / RS485 | |
| LED顯示屏 | 電源/錯(cuò)誤：電源和錯(cuò)誤指示燈（閃爍狀態(tài)根據(jù)每種模式而變化） FIL：發(fā)射有效的指示燈 | ||
| SET1：設(shè)定點(diǎn)1 LED SET2： 設(shè)定點(diǎn)2 LED SET3：設(shè)定點(diǎn)3 LED | -- | ||
| 發(fā)射電流 | 1 mA（1×10 -3 Pa以下），10 µA | ||
| 德加斯 | 電子沖擊解吸方法（電子轟擊）1 mA，330 V | ||
| 傳感器耐壓 | 2 x 10 5 Pa（壓力）*法蘭和夾具等的耐壓性必須分開考慮。 | ||
| 傳感器內(nèi)部容積 | 34厘米3（M34） | ||
| 工作溫度極限 | 10?50℃ | ||
| 工作濕度范圍 | 15-80％（但是，無凝結(jié)） | ||
| 貯存溫度 | -20至65°C（斷電時(shí)無結(jié)露） | ||
| IP防護(hù)等級 | IP30 | ||
| 電源電壓 | 20至28 VDC（紋波，噪聲1％或更低）19 W或更低（電源打開時(shí)為156 W） | ||
| I / O連接器 | D-sub15針（M2.6螺絲） | ||
| 大眾 | 控制器：約530 g，BA探針（M34）：63 g | ||
| 外形尺寸W xD x H（mm） | 144 x 75 x 62以下（控制器部分） | ||
| 符合標(biāo)準(zhǔn) | CE認(rèn)證 | ||
| 選項(xiàng) | 電源/錯(cuò)誤：多離子計(jì)傳感器 | M34（NW16），M35（NW25） 材質(zhì)：長絲1 lr / Y 2 O 3涂層，長絲2 W（鎢） 其他Pt C Mo，SUS，W | |
| 皮拉尼規(guī) | SPU | ||
| 皮拉尼儀表傳感器 | WP-16（NW16） 材質(zhì)：細(xì)絲鉑，其他BS / Ni，鍍層，Ni，焊料 | ||
| 大氣壓傳感器 | GAM（NW16）材質(zhì)：SUS316L | ||
| 單元電纜 | GPM為0.5毫米 GAM為0.5毫米 | ||
| 顯示單位 | 1 CH：ISG1型（使用DC 24 V電源） 4 CH：IM1R1型（使用DC 24 V電源） IM2R1型（使用AC 100 V電源） | ||
| 顯示電纜 | GMi和顯示單元之間的電纜 2 m，5 m，10 m，15 m | ||
每種模式的規(guī)格
GMi-1 / GMi-2可以從三種使用類型中選擇：單個(gè)多離子壓力計(jì)模式，帶皮拉尼壓力計(jì)的組合模式以及帶皮拉尼壓力計(jì)和大氣壓傳感器的三重組合模式。
| 模式 | GMi-1 / GMi-2 獨(dú)立模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM 組合模式 | GMi-1 / GMi-2 + GPM + GAM 組合模式 |
|---|---|---|---|
| 測量壓力范圍 | 5×10 -8?1 ×10 1帕 | 5×10 -8?1 ×10 4帕 | 5×10 -8?1 ×10 5帕 |
| 測量精度 | 5×10 -8?1 ×10 1 Pa±15％ | 5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3至1.0×10 4 Pa：不保證精度 | 5×10 -8至1×10 3 Pa：±15％ 1×10 3至3.0×10 3 Pa：±30％ 3.0×10 3 至1.0×10 4 Pa：無精度保證 1.0×10 4至1.0× 10 5 Pa：±3％FS （3×10 3 Pa，參考溫度25°C） |
| 重復(fù)性 | 1 x 10 -6至1 x 10 -1 Pa：Pa±2％ | ||
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